半导体零部件行业系列报告之二：阀门，国产替代方兴未艾，优质厂商有望快速放量-20230506-兴业证券-28页_3mb

半导体阀门行业分析报告总结

核心内容

半导体阀门是真空系统和流体系统中的关键零部件，具有高密封性、高洁净度、耐腐蚀、高精度控制等特性。全球市场主要由海外厂商主导，其中真空阀市场以瑞士VAT为主导，占据约75%的市场份额；流体阀市场则由美国Swagelok、ParkerHannifin和日本Fujikin等企业主导。随着中美贸易摩擦加剧和半导体设备进口限制，国产替代成为行业发展的关键趋势。

主要观点

1. 阀门的重要性
   阀门在半导体制造中扮演重要角色，不仅用于隔离、控制气体流量和压力，还用于传输和调节工艺气体。其在真空系统和流体系统中都有广泛应用，对半导体制造的工艺环境有极高要求。

2. 市场格局
   全球半导体阀市场规模庞大，真空阀和流体阀合计约21亿美元，其中真空阀约占10亿美元，流体阀约5亿美元。VAT、Swagelok、Fujikin等国际厂商占据主导地位，而国内厂商在真空阀和流体阀市场中仍处于起步阶段。

3. 国产替代趋势
   国内半导体阀门行业面临显著的国产替代机会，尤其是在流体阀领域。随着国内晶圆厂的快速扩产和对设备自主可控的需求增加，优质国产厂商有望迎来快速发展。

4. 重点公司表现
   新莱应材在真空阀和气体阀领域实现了良好的国产替代突破，其产品已应用于主流客户。晶盛机电和九天真空也在精密零部件和真空阀领域有所进展，未来成长空间巨大。

关键信息

市场规模与格局

• 全球真空阀市场规模约10亿美元，流体阀约5亿美元。
• 2021年VAT占全球半导体真空阀市场份额约75%。
• Swagelok、ParkerHannifin、Fujikin等美日厂商主导流体阀市场。

国产替代进展

• 新莱应材在真空阀和气体阀领域实现国产替代，尤其是隔膜阀和超高纯产品。
• 晶盛机电与日本Primet合作，实现隔膜阀的认证和量产。
• 九天真空在真空阀领域有丰富的产品线，承担多个国家重大专项。

投资建议

• 推荐新莱应材，其真空阀和气体阀已实现良好替代，预计迎来快速放量。
• 建议关注晶盛机电（兴证机械组覆盖）和九天真空（未上市）等优质企业。

风险提示

• 中美贸易摩擦加剧可能影响半导体产业链的稳定。
• 下游扩产及资本开支不及预期可能导致市场空间受限。
• 细分行业竞争加剧可能影响企业市场份额。

图表目录

• 图1：各种阀门图示
• 图2：我国定义的常见阀门种类及代号
• 图3：最常用的真空阀及应用
• 图4：闸阀产品图示
• 图5：闸阀的应用示例
• 图6：角阀产品图示
• 图7：角阀的应用示例
• 图8：摆阀产品图示
• 图9：摆阀的应用示例
• 图10：碟阀产品图示
• 图11：碟阀的工作原理
• 图12：球阀产品图示
• 图13：球阀的应用示例
• 图14：传输阀产品图示
• 图15：传输阀的应用示例
• 图16：2021年全球真空阀市场中瑞士VAT的市场份额
• 图17：全球真空阀主要厂商与市场份额情况
• 图18：VAT所处产业链及服务市场和客户
• 图19：2022年VAT收入业务结构
• 图20：2022年VAT收入地区结构
• 图21：典型IC制造厂的气体分配系统
• 图22：Fab厂特气系统输送路径
• 图23：GasCabinets图示
• 图24：多功能阀箱图示
• 图25：GasBox图示
• 图26：隔膜阀产品图示
• 图27：隔膜阀工作原理
• 图28：调压阀产品图示
• 图29：调压阀工作原理
• 图30：单向阀产品图示
• 图31：部分单向阀内部结构图
• 图32：波纹管阀产品图示
• 图33：波纹管阀内部结构图
• 图34：Swagelok的嵌入式阀组系统设计可使GasBox更小型化
• 图35：Swagelok面向半导体行业的产品
• 图36：Swagelok提供产品图示
• 图37：Fujikin产品
• 图38：Fujikin产品
• 图39：中芯国际扩产及资本开支整理及预测
• 图40：全球半导体设备市场规模地区结构
• 图41：2020年半导体零部件供应商及自给率
• 图42：新莱应材发展历程
• 图43：新莱应材产品图示
• 图44：新莱应材主要下游
• 图45：新莱应材产品结构
• 图46：新莱应材下游结构
• 图47：新莱应材真空产品
• 图48：新莱应材UHP超高洁净产品图示
• 图49：晶盛机电主营业务布局
• 图50：晶盛机电精密零部件业务
• 图51：九天真空发展历程
• 图52：九天真空核心业务
• 图53：九天真空真空阀产品

表格目录

• 表1：常见阀门分类
• 表2：真空的压力范围划分
• 表3：真空阀按作用划分
• 表4：真空产品材料选择的指标要求
• 表5：半导体真空阀需满足的要求
• 表6：气体系统元件需满足的要求
• 表7：ALD对流体系统阀门的挑战
• 表8：半导体阀的国内外供应商梳理
• 表9：板块公司估值

投资要点总结

• 半导体阀门是真空和流体系统中的核心零部件，对密封性、洁净度、耐腐蚀等要求极高。
• 全球市场主要由海外厂商主导，尤其是VAT、Swagelok、Fujikin等企业。
• 国内厂商在真空阀和流体阀市场中尚处于起步阶段，但随着国产替代加速，有望迎来快速发展。
• 新莱应材、晶盛机电、九天真空等优质厂商在国产替代方面已取得一定进展，具备良好的增长潜力。
• 投资建议关注新莱应材，同时关注晶盛机电和九天真空等企业。

风险提示

• 中美贸易摩擦可能影响半导体设备进口及供应链稳定性。
• 下游扩产不及预期可能导致市场空间受限。
• 细分行业竞争加剧可能影响企业市场份额。

分析师信息

• 李双亮
  邮箱：lishuangliang@xyzq.com.cn
  证书编号：S0190520070005

• 王佩麟
  邮箱：wangpeilin@xyzq.com.cn
  证书编号：S0190522080002