> **来源：[研报客](https://pc.yanbaoke.cn)** # 中科仪（920186.BJ）总结报告 ## 核心内容 中科仪是一家专注于真空技术研究与发展的企业，隶属于中国科学院，是干式真空泵及真空科学仪器设备领域的核心企业，致力于打破海外垄断，推动国产替代进程。公司产品广泛应用于集成电路、光伏等半导体行业，以及国家重大科技基础设施和科研领域。 ## 主要观点 - **技术实力**：公司拥有三个国家级研发平台，是真空技术及真空类科学仪器攻坚的主力军，截至2025年12月31日，已获得授权发明专利103项、实用新型专利20项和软件著作权登记37项。 - **市场地位**：公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，产品已通过台积电、大连Intel、SK海力士等国际厂商的测试验证。 - **产品应用**：公司主要产品包括干式真空泵和真空科学仪器设备，其中干式真空泵占公司主营收入的 $64.70\%$，2025年公司营收为12.91亿元，归母净利润为84,386.54万元。 - **行业前景**：全球集成电路市场持续增长，预计2025年市场规模将达6,779亿美元，2022-2025年全球集成电路对干式真空泵的需求分别为11.27万台、12.57万台，市场空间广阔。 - **研发能力**：公司自主研发形成八大核心技术，积极参与制定13项国家、行业与团体标准，推动行业技术进步。 ## 关键信息 ### 干式真空泵市场 - 全球集成电路产业对干式真空泵的需求持续增长，2024年全球集成电路对干式真空泵的需求为12.57万台，市场规模约125.74亿元。 - 中国大陆集成电路产业对干式真空泵的需求在2024年为5.21万台，市场规模约52.11亿元。 - 全球光伏产业对干式真空泵的需求在2024年为6.7-8.2万台，市场规模约47.0-57.2亿元。 ### 真空科学仪器设备市场 - 公司产品包括PVD、CVD等设备，广泛应用于科研领域。 - 国家重大科技基础设施（如上海光源）的建设推动了真空科学仪器设备的需求增长。 - 我国基础研究经费持续增长，2025年达2,778亿元，占研发投入的 $7.08\%$，为科学仪器市场带来发展空间。 ### 财务表现 - 2022-2025年，公司营业收入稳步增长，2025年营收为12.91亿元。 - 扣非归母净利润分别为6,186.11万元、7,298.08万元、8,787.75万元和10,297.96万元，呈上升趋势。 - 公司毛利率总体稳定，2025年综合毛利率为 $26.78\%$，其中干式真空泵毛利率为 $24.23\%$，真空科学仪器设备毛利率为 $33.40\%$。 ### 募投项目 - 公司募投项目包括干式真空泵产业化建设项目等3个项目，旨在扩大产能、增强研发能力、丰富产品体系。 ### 风险提示 - 技术产品研发风险 - 市场竞争加剧风险 - 经营业绩下滑风险 ## 产品结构 ### 干式真空泵 - **L系列**：适用于半导体清洁工艺流程，如晶圆传输、量测、光刻等，抽速范围为110~1,000m³/h，产品特点为抽气效率高、体积小、能耗低。 - **M系列**：适用于半导体中等工艺流程，如刻蚀、离子注入等，抽速范围为600~1,200m³/h，产品特点为体积小、运行温度低、泵温可控、耐腐蚀。 - **H系列**：适用于半导体苛刻工艺流程，如薄膜沉积等，抽速范围为600~2,800m³/h，产品特点为抽气效率高、排粉尘能力强、泵温可控、耐腐蚀能力强，体积小、能耗低、抗大气载冲击能力强。 ### 真空科学仪器设备 - **PVD设备**：包括热蒸发沉积、溅射沉积等，广泛应用于电子、机械、光学等领域。 - **CVD设备**：包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、金属有机化合物化学气相沉积技术（MOCVD）等，广泛应用于材料科学、生物医用材料等领域。 ## 市场竞争 - **干式真空泵领域**：主要竞争对手包括Edwards、Ebara、Kashiyama和通嘉科技等，公司是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业。 - **真空科学仪器设备领域**：主要竞争对手为美国行业领先企业Veeco、KJLC等，公司在科研领域占据一定优势。 ## 企业荣誉 - 公司被评为2020年度、2023年度国家“专精特新”小巨人企业。 - 公司及其前身共获得国家科学技术进步奖6项，国家知识产权优势企业等多项荣誉称号。 ## 控制权结构 - 截至2026年4月10日，国科控股通过国科科仪持有公司 $35.21\%$ 的股份，为公司的实际控制人。 ## 技术挑战 - 干式真空泵设计制造难度大、稳定性可靠性要求高，需解决真空压力稳定性、抗大气载冲击能力、抗特气腐蚀能力、抗粉尘能力、大范围温度变化下的稳定运行能力、长期运转不停机等技术难题。 - 公司通过自主研发，优化产品设计、提升制造精度，以满足不同工艺环节对干式真空泵的特殊需求。 ## 总结 中科仪作为国内真空技术领域的“小巨人”企业，在干式真空泵和真空科学仪器设备方面具有显著优势，产品广泛应用于集成电路、光伏等半导体行业，以及国家重大科技基础设施和科研领域。公司依托中科院的技术资源，持续加大研发投入，推动技术进步和产品创新，逐步打破海外垄断，实现国产替代。未来，随着集成电路和光伏产业的持续增长，以及基础研究的深入，中科仪有望在相关市场中进一步扩大市场份额，实现可持续发展。