化工行业深度报告：从半导体国产化看电子特气自主可控之路_71页_5mb

报告摘要

电子特气行业深度报告总结

核心内容概述

电子特气是电子工业不可或缺的原材料，被誉为电子工业的“血液”，在半导体制造、平面显示器件、太阳能电池等生产过程中起着关键作用。其纯度要求极高，对杂质控制严格，涉及纯化、检测、储运等多个技术环节，是影响产品质量和生产安全的重要因素。

主要观点

电子特气的重要性
电子特气贯穿半导体制造的各个工艺步骤，决定集成电路的性能、集成度和成品率。即使某一杂质超标，也可能导致整条生产线污染，影响产品质量和生产效率。
市场现状
- 全球电子特气市场被美国空气化工、普莱克斯、法液空、大阳日酸和德国林德等几大国际巨头占据，全球市场占有率约94%。
- 国内市场由海外企业控制，占比约85%，高端气体几乎完全依赖进口，存在技术封锁和供应安全风险。
国内需求增长
- 2013-2018年，我国集成电路产业销售额复合增速高达21.1%，2018年同比增速为20.7%。
- 2019-2020年，中国大陆晶圆厂密集投产，12英寸等效产能从119万片/月增长至359万片/月，年均增速达44%。
- 2018年，我国集成电路用电子特气市场空间约为27亿元，预计2021年将增长至81亿元。
技术挑战
- 电子特气的纯度要求高达5N-6N（99.999% - 99.9999%），某些杂质需控制在10^-12级别（ppb）。
- 纯化技术包括低温精馏、膜分离和吸附分离，其中低温精馏是主流，但能耗高，操作条件要求严格。
- 杂质检测需使用高精度分析方法，如气相色谱、ICP-AES和ICP-MS等。
- 储运技术方面，负压气瓶技术成为危险气体储运的标准，以减少泄露风险。
行业发展趋势
- 随着半导体产业链向中国大陆转移，电子特气市场需求迅速扩大。
- 日本电子特气需求变化显示，先进制程气体如八氟环丁烷等需求增长，而传统气体如离子注入气体需求下降，这与行业转移趋势一致。
- 中国在半导体特气领域逐步实现自主可控，部分企业已打破进口垄断，具备批量生产能力。

关键信息

市场格局
海外企业主导全球和中国市场，国内企业面临激烈竞争，需加快技术突破和国产替代进程。
行业数据
- 电子特气占晶圆制造材料成本的14%，为仅次于硅片的第二大材料。
- 2018年全球半导体市场规模为4688亿美元，其中IC占比84%，达3933亿美元。
- 2018年我国半导体材料市场规模约322亿美元，其中晶圆制造材料约为21-25亿美元，预计2020年将增长至41亿美元。
技术要求
- 电子特气需达到高纯度标准，如99.999% - 99.9999%（5N-6N）。
- 杂质控制严格，部分关键杂质仅标明“需与用户协商”。
- 需采用特殊检测技术，如气相色谱、ICP-AES、ICP-MS等。
行业整合与证券化
- 国内电子特气产能分散，多数优质企业未上市，未来行业整合和证券化率提升是趋势。
- 建议关注如昊华科技、巨化股份、雅克科技、金宏气体、硅烷科技等企业。
主要标的
- 主板上市公司：昊华科技、巨化股份（中巨芯）、南大光电、雅克科技、凯美特气。
- 新三板上市公司：硅烷科技、金宏气体。
- 非上市优质标的：派瑞特气、博纯材料、绿菱气体、太和气体、北方特气、威顿晶磷、湖州迅鼎、艾佩科。