20260922-华源证券-北交所科技成长产业跟踪第九十二期_中科仪真空泵对标Edwards加速国产替代_北交所真空泵产业链全梳理_33页_3mb

北交所真空泵产业链及科技成长产业总结

核心内容概述

本报告聚焦北交所科技成长产业，重点分析了真空泵产业链的发展现状及前景，并梳理了北交所整体及细分行业的市值与估值变化。同时，披露了近期重要公告，包括并行科技签署19.13亿元五年期GPU算力服务合同等。

真空泵专题

1.1 晶圆需求扩容驱动干泵刚需

• 干式真空泵是半导体制造真空系统的核心部件，无需油类密封，可直排大气，满足集成电路对洁净真空环境的需求。
• 集成电路制造涉及15项主要工艺，其中11项需在真空环境中完成，且前道约28个环节需要洁净真空。
• 随着先进制程与EUV光刻技术的发展，真空工序数量和门槛进一步提升。
• 全球半导体晶圆需求（300mm等效）预计从2024年的1.14亿片增至2030年的1.69亿片，年均复合增长率（CAGR）约为7%。
• HBM和领先制程增速较快，预计2030年分别达到32%和18%。

1.2 Edwards 是真空及尾气处理行业的领头羊

• Edwards 是全球领先的真空设备供应商，市占率约80%，长期主导半导体真空泵市场。
• Atlas Copco 收购 Edwards 后，形成了“场景多覆盖+软硬一体化”的真空产品矩阵，覆盖半导体、光伏、工业通用、科研等多个领域。
• Edwards IS-1800V 低温压缩机在2030年全周期预计减排约9.5万吨 CO₂ 当量，节约冷却水超1亿立方米。

1.3 北交所真空泵产业链企业共有5家

• 北交所共有5家真空泵产业链企业：中科仪（干式真空泵）、坤博精工（晶体生长真空炉体）、连城数控（单晶炉）、丰光精密（真空泵主轴）、腾信精密（高端设备精密零部件）。
• 中科仪以罗茨干泵产品对标 Edwards，其 L/M/H 系列覆盖清洁、中等、苛刻工艺，适配30余家主流设备厂商机台。
• 2026H1，中科仪干式真空泵营收为4.24亿元，占营收约68%，毛利率为25.11%。
• 2026H1，中科仪实现营收6.23亿元（同比+8.52%），扣非归母净利润为6106万元（同比-3.41%）。

总量分析

• 北交所科技成长股在2026年9月14日至9月18日期间，周度涨跌幅中值为+0.80%，上涨公司达125家（占比66%）。
• 涨跌幅前五公司为：戈碧迦（+24.88%）、千岸科技（+19.65%）、杰理科技（+13.44%）、华信永道（+10.63%）、觅睿科技（+10.03%）。
• 北证50、沪深300、科创50、创业板指周度涨跌幅分别为+2.04%、-0.06%、+6.39%、+1.52%。

行业分析

电子设备产业

• 市盈率TTM中值由40.3X升至40.7X。
• 市值中值由17.9亿元升至18.0亿元。
• 涨跌幅前五公司：戈碧迦（+24.88%）、杰理科技（+13.44%）、万源通（+9.89%）、纬达光电（+8.13%）、同惠电子（+7.39%）。
• 涨跌幅后五公司：天罡股份（-20.59%）、则成电子（-16.45%）、成电光信（-11.76%）、胜业电气（-11.00%）、泓禧科技（-7.12%）。

机械设备产业

• 市盈率TTM中值由33.2X降至32.9X。
• 市值中值由14.4亿元升至14.8亿元。
• 涨跌幅前五公司：铁拓机械（+8.80%）、南特科技（+5.22%）、灵鸽科技（+4.86%）、花溪科技（+3.98%）、大鹏工业（+3.86%）。
• 涨跌幅后五公司：七丰精工（-9.06%）、科力股份（-6.88%）、美心翼申（-5.99%）、春光智能（-5.48%）、浙江大农（-3.03%）。

信息技术产业

• 市盈率TTM中值由41.2X升至41.5X。
• 市值中值由15.8亿元升至16.7亿元。
• 涨跌幅前五公司：千岸科技（+19.65%）、华信永道（+10.63%）、觅睿科技（+10.03%）、国子软件（+6.19%）、众诚科技（+4.30%）。
• 涨跌幅后五公司：同辉信息（-2.25%）、云星宇（-1.47%）、路桥信息（-1.20%）、星图测控（-0.02%）、科达自控（+0.10%）。

汽车产业

• 市盈率TTM中值由17.1X升至17.2X。
• 市值中值由14.7亿元升至14.8亿元。
• 涨跌幅前五公司：永励精密（+7.04%）、朗信电气（+7.03%）、海昌智能（+6.18%）、嘉晨智能（+5.55%）、华阳变速（+2.81%）。
• 涨跌幅后五公司：开特股份（-7.44%）、骏创科技（-6.30%）、巴兰仕（-4.27%）、浩淼科技（-2.86%）、同力股份（-1.84%）。

新能源产业

• 市盈率TTM中值由32.3X降至30.7X。
• 市值中值由14.5亿元升至14.8亿元。
• 涨跌幅前五公司：美德乐（+9.17%）、益坤电气（+4.06%）、聚星科技（+3.93%）、许昌智能（+3.70%）、天宏锂电（+3.60%）。
• 涨跌幅后五公司：艾能聚（-6.82%）、亿能电力（-6.33%）、球冠电缆（-3.18%）、长江能科（-2.71%）、合肥高科（-1.79%）。

重要公告

并行科技

• 与客户A签署19.13亿元五年期GPU算力服务合同，服务期限至2032年1月14日。
• 拟租入GPU算力资源，合同金额预计不超过21,120万元。
• 拟向内蒙古新东吉泰科技采购GPU算力服务器及配套IT设备，合同金额预计不超过4,192.62万元。

海泰新能

• 全资子公司唐山盛泰新能源有限公司与北京熙诚能源投资有限公司、北京熙诚共赢科技有限公司共同出资设立北京熙诚海泰新能源发展合伙企业（有限合伙）。

新芝生物

• 终止以发行股份及支付现金方式购买北京清博华科技100%股权的重大资产重组事项，因交易双方无法就核心条款达成一致意见。

三协电机

• 控股子公司三思传动科技向上海雷智赋能科技增发600万股，认购价款为900万元，增资后雷智赋能持有20%股权，三协电机持股比例由87.5%降至70%。

恒道科技

• 拟以1,000万元人民币认购格灿光电新增注册资本32.85万元，将持有目标公司3.60%的股权。

风险提示

• 宏观经济环境变动风险
• 市场竞争风险
• 资料统计误差风险