20220901-德邦证券-半导体设备中标专题（2022年8月）_晶圆厂招标放缓_设备国产率持续提升_11页_1mb

机械设备行业分析总结

核心内容概述

本报告聚焦于2022年8月中国大陆半导体设备市场的表现与趋势，分析了主要晶圆厂的设备招标情况、国产化率变化以及重点投资标的。整体来看，尽管8月设备开标数量略有下降，但国内设备厂商在关键环节的国产化率持续提升，尤其在刻蚀、清洗、干法去胶等设备领域表现突出，反映出国内半导体设备行业的快速成长和自主创新能力的增强。

主要观点与关键信息

1. 2022年8月设备开标情况

• 开标数量：2022年8月，国内主流晶圆厂共开标42台工艺设备。
• 主要贡献者：上海积塔是8月的主要扩产厂商，共开标36台设备；华虹无锡开标3台设备。
• 前八个月数据：2022年1-8月，共开标666台工艺设备，其中上海积塔贡献286台，华虹无锡贡献329台，合计占比超过90%。
• 设备类型分布：8月开标设备以后道测试设备（24台）、前道检测设备（7台）、清洗设备（4台）为主；1-8月则以炉管设备（165台）、沉积设备（107台）、刻蚀设备（95台）为主。

2. 设备国产率提升趋势

• 8月国产率：2022年8月，中国大陆设备中标数量为13台，国产率达31.0%。
• 1-8月国产率：2022年1-8月，中国大陆设备中标数量为239台，国产率达35.9%，较2021年（27.4%）和2020年（16.8%）有明显提升。
• 高国产率环节：干法去胶设备国产率最高（80.6%），其次为刻蚀设备（58.9%）、清洗设备（53.7%）、抛光设备（42.9%）和涂胶显影设备（38.9%）。

3. 主要晶圆厂国产设备中标情况

• 上海积塔：2022年1-8月国产设备中标数量达173台，国产率超60%，是国产设备中标数量最多的晶圆厂。
• 华虹无锡：国产设备中标数量为46台，国产率约为14.0%，相较其他晶圆厂，其设备依赖进口较多。
• 其他晶圆厂：长江存储、中芯绍兴、时代电气等的国产设备中标数量较少，国产率普遍低于30%。

4. 中标厂商分析

• 上海友能：中标7台设备，均为上海积塔的后道测试设备。
• 捷佳伟创：中标3台设备，均为上海积塔的清洗设备。
• 上海利芯：中标2台设备，均为上海积塔的刻蚀设备。
• 上海精测：中标1台设备，为福建晋华的前道检测设备。

投资建议

• 重点关注企业：
  • 北方华创（002371）：国内半导体设备龙头。
  • 中微公司（688012）：高端刻蚀设备龙头。
  • 长川科技（300604）、华峰测控（688200）：持续突破高端后道测试机。
  • 芯源微（688037）：涂胶显影与单片清洗设备领先。
  • 拓荆科技（688072）：半导体薄膜沉积设备龙头。
  • 盛美上海（688082）、至纯科技（603690）：国产清洗设备领军企业。
  • 万业企业（600641）：离子注入机领先企业。
  • 盛剑环境（603324）：半导体环保设备领先企业。

风险提示

• 晶圆厂扩产不及预期：可能影响设备需求。
• 设备公司研发不及预期：可能影响技术突破与市场竞争力。
• 中美贸易摩擦风险：可能对设备出口及供应链造成影响。

数据来源与统计说明

• 数据来源：中国国际招标网。
• 统计范围：涵盖长江存储、华力集成、华力微电子、福建晋华、华虹无锡、合肥晶合、上海积塔、中车时代、中芯绍兴、武汉新芯等10家中国大陆主要的IDM或代工企业。
• 设备分类：
  • 制程核心设备：光刻机、刻蚀设备、沉积设备、离子注入设备。
  • 良率提升设备：前道检测设备、后道测试设备、清洗设备。
  • 重要辅助设备：炉管设备、CMP抛光设备、干法去胶设备、涂胶显影设备。

行业展望

随着国产设备在关键环节的持续突破，半导体设备国产化进程加快，国内厂商在刻蚀、清洗、干法去胶等环节的竞争力显著增强，未来有望进一步提升市场份额，推动行业整体发展。