碳化硅设备行业深度报告：SiC东风已来，关注衬底与外延环节的材料+设备国产化机遇【勘误版】_76页_5mb

🔴 SiC衬底

材料端良率是关键。目前国产衬底良率仅约50%（低于海外龙头85%），硅外延片价格随良率提升逐年下降（2022-2025年CAGR 78%/90%）。国产厂商正努力提升8英寸衬底量产能力（如天岳先进、晶盛机电、天科合达已实现6英寸批量交付，30万片产能 planned），核心假设包括衬底价格下降、新能源汽车渗透率提升、光伏逆变器需求增长等。

🔴 SiC外延

国外设备商主导（意LPE、德国爱思强、日Nuflare CR>80%），核心壁垒在于气体流量控制。预计2025年全球新增市场空间约130亿，国产厂商（如晶盛机电、北方华创、芯三代）正在推进替代，未来2-3年有望实现快速国产化。

🔴 SiC切片&研磨抛光

切片技术从砂浆切割向金刚线、激光切割演进，金刚线切割效率提升5倍以上且材料损耗更低，良率约75%，预计2025年全球新增市场空间30亿，国产厂商（高测股份、德龙激光）均在推进替代。研磨抛光环节由DISCO等国际龙头（CR>90%）主导，双面研磨能更好地改善衬底翘曲度与平面度。

🔴 划片

SiC晶圆硬度高脆性大，普通砂轮切割易产生崩刃、分层等缺陷。激光开槽+机械切割是主流方案，市场被大族激光与德龙激光垄断（CR 80%），预计2025年新增市场空间5亿。

🔴 激光切割设备

美日品牌主导，现有市场被大族激光与德龙激光垄断，核心壁垒在于材料加工精度控制，设备价格约400-1000万元，国产厂商正在推进替代。

🔴 外延炉设备

福冈LPE与日Nuflare主导，核心技术是气体流量控制，CR>90%。预计2025年新增市场空间100亿，国产厂商（晶盛机电、芯三代、北方华创）正在推进替代。

🔴 投资建议

推荐晶盛机电（SiC衬底片+外延炉）、迈为股份（SiC研磨机）、高测股份（SiC金刚线切片机）、德龙激光（SiC激光切片+划片机）、北方华创（SiC长晶炉+外延炉）。建议关注纳设智能、晶升股份等未上市公司。

🔴 风险提示

新能源车销量不及预期、碳化硅渗透率提升不足、设备国产化不及预期、技术研发周期长。