深度报告-20231014-东吴证券-碳化硅设备行业深度报告_SiC东风已来_关注衬底与外延环节的材料+设备国产化机遇_勘误版__76页_5mb

碳化硅设备行业深度报告核心洞察

SiC行业概况

• 第三代半导体核心材料：SiC具备高热导率、高击穿场强等优势，适用于高温高频高功率场景，主要应用场景包括新能源汽车、光伏储能、国防军工等领域。2027年新能源汽车导电型SiC功率器件市场规模预计达50亿美元，占比达79%。
• 产业链价值分布：70%价值集中在衬底/外延环节，器件制造仅占30%。

衬底环节

• 国产化挑战：良率仅为50%，对标海外龙头85%仍有差距；2025年全球/国内衬底新增空间分别为380/156亿元，CAGR为78%/90%。
• 设备国产进展：国内厂商已掌握长晶炉技术，北方华创/晶升股份CR2达80%；切片领域金刚线/激光切割替代砂浆线趋势明显；研磨抛光以DISCO为龙头，国内迈为股份对标推进国产化。

外延环节

• 技术壁垒：主流设备依赖LPE/Nuflare，2025年全球/国内外延炉新增空间54/22亿元，CAGR为75%/88%。
• 国产替代加速：晶盛机电2023年推出8英寸单片式外延设备，北方华创/芯三代/深圳纳设等加速技术突破，2-3年内国产设备或成主力。

划片环节

• 技术演进：激光隐形切割替代机械切割，2025年全球/国内激光切割设备新增空间5/2亿元，CAGR为60%/71%。
• 国产厂商：德龙激光/大族激光主导，两家市占各半。

投资建议

• 重点推荐：晶盛机电（衬底&外延炉）、迈为股份（研磨机）、高测股份（金刚线切片机）、德龙激光、北方华创。
• 关注标的：晶升股份（长晶炉）、大族激光、纳设智能（未上市外延炉）。

风险提示

• 新能源车销量不及预期、SiC渗透率/设备国产化率滞后、技术迭代不及预期。

东吴证券 2023·9