半导体行业电子气体深度报告：半导体材料·电子气体投资宝典-20200324-浙商证券-59页_3mb

半导体材料·电子气体投资宝典深度报告总结

核心内容

电子气体是半导体制造过程中不可或缺的关键材料，被称为半导体制造的“血液”。它在集成电路制造中被广泛应用于清洗、刻蚀、成膜、掺杂等工艺，直接影响芯片的良率和可靠性。随着集成电路制造技术的不断进步，电子气体的纯度和精度要求也日益提高。

主要观点

1. 疫情放大供需矛盾：疫情导致国外电子气体制造和物流受限，造成供给减少，而国内晶圆厂全面复工复产，需求端迅速恢复，供需矛盾被放大，为电子气体国产替代提供了契机。
2. 晶圆厂密集投产：2020年~2022年是中国大陆晶圆厂投产高峰期，长江存储、长鑫存储等新晶圆厂与中芯国际、华虹等老厂同步扩张，为电子气体国产替代创造了最佳窗口期。
3. 市场空间巨大：预计2022年中国大陆电子气体市场空间将接近300亿元，是2019年的两倍，电子气体市场进入高速发展期。
4. 国产替代势在必行：受中美贸易摩擦及日韩贸易争端影响，电子气体国产替代进程加快。国内部分企业已在特定气体上实现突破，逐步打破国外垄断。

关键信息

电子气体的分类及作用

• 电子特种气体：用于化学气相沉积（CVD）、离子注入、光刻胶印刷、扩散、刻蚀、掺杂等工艺。
• 电子大宗气体：主要作为环境气、保护气、载体，如氮气、氧气、氩气等。

主要特种气体及其用途：

• 刻蚀气体：如CF4、SF6、C4F8等，用于干法刻蚀工艺。
• 化学沉积气体：如SiH4、TEOS等，用于沉积薄膜。
• 离子注入气体：如BF3、B2H6、PH3、AsH3等，用于形成P型和N型区域。
• 外延沉积气体：如SiCl4、SiH2Cl2、SiHCl3等，用于外延层生长。
• 光刻气体：如Ar/F/Ne混合气、Kr/Ne混合气等，用于光刻机光源生成。
• 惰性保护气体：如氮气，用于保护晶圆在制造过程中的稳定性和防止污染。

电子气体的市场趋势

• 全球晶圆产能增长：2020年至2022年全球晶圆产能将大幅增加，中国大陆占产能增长的50%。
• 中国电子气体市场增长：2019年市场规模为20亿美元，预计2022年将接近40亿美元，接近300亿元人民币。
• 市场占比提升：中国大陆电子气体市场占比从2018年的44.4%逐步提升，成为全球电子气体市场的重要组成部分。

国内企业进展

• 部分实现国产替代：华特气体、雅克科技、昊华科技、南大光电等企业在特定气体上实现了突破，逐步打入国际供应链。
• 技术壁垒高：电子气体的生产涉及气体纯度、精度、认证和资质等多个方面，技术门槛高，进入壁垒大。
• 政策支持：国家出台多项政策支持半导体产业发展，包括设立大基金、推动集成电路自给率等，为电子气体国产替代提供了强有力的支持。

国际主要企业

• 美国空气化工产品（APD）：全球第三大气体供应商，业务涵盖大宗气体和稀有气体。
• 林德集团：与普莱克斯合并后成为全球最大氧气、氮气和氦气供应商。
• 法国液空集团：在电子材料领域占据重要地位。
• 日本昭和电工、太阳日酸、关东电化工：在电子气体领域具有较强竞争力，掌握核心技术。

投资机会

• 重点标的：华特气体、雅克科技、昊华科技、南大光电、巨化股份、凯美特气、三孚股份、和远气体等。
• 行业催化剂：晶圆厂建设超预期、国产替代率超预期。
• 风险提示：客户进展较慢、价格下降、景气度下行。

行业评级

• 半导体行业：看好。

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图表与数据

• 图表：涵盖全球半导体材料销售额、中国电子气体市场规模、晶圆厂产能增长、气体纯度与精度要求等。
• 数据：2018年中国特种气体下游细分领域占比、2019年部分地区相关布局、中国电子气体市场规模与增速等。

总结

电子气体作为半导体制造的关键材料，其市场空间广阔，且国产替代进程加快。随着晶圆厂产能扩张和政策支持，国内企业正逐步突破技术壁垒，实现关键产品的进口替代。未来，电子气体市场将进入高速发展期，为相关企业带来巨大的投资机会。