深度报告-20240129-东吴证券-微导纳米-688147.SH-立足ALD布局光伏_半导体_拓展CVD打开成长空间_34页_2mb

微导纳米深度研究总结

公司概况

1. 定位：ALD设备龙头，依托原子层沉积（ALD）技术布局「光伏+半导体」双轮驱动

   • 成立于2015年，核心技术为自限制性ALD技术。
   • 光伏设备占营收主导（2023H1占比87%），半导体设备逐步放量。

2. 股权结构：实控人家族王燕清间接持股61%，研发团队经验丰富，核心技术人员如创始人黎微明、总经理周仁等背景深厚。

核心技术——ALD的自限制性优势

• 优势特点：
  ① 厚度精确度达原子级别（1Å），全覆盖能力极佳；
  ② 成本低、呈层式生长，适用于高温敏感场景（与PVD/CVD对比见图15）。
• 应用领域扩展：
  ① 光伏：PERC/TOPCon/钙钛矿电池表面钝化层制备；
  ② 半导体：28nm以下制程高K介质层、FinFET/GAAFET三维结构覆盖；
  ③ 其他：新型显示、化合物半导体等。

产品与应用

• 主导产品矩阵：
  夸父系列ALD系统（PERC/TOPCon钝化层）、祝融PEALD/PECVD（多串联组合）、后羿ALD/PEALD/PECVD（新一代）。
  此外已布局CVD设备（如PECVD、LPCVD），打造差异化“ALD+ CVD”平台。

• 客户与订单：

  • 光伏：2023年新签订单为同期292倍，TOPCon/XBC设备市场空间测算2025年达138亿元；
  • 半导体：已获长江存储、华虹等客户订单（28nm及以上），2023新增订单329倍。

市场空间与国产替代

• 光伏设备：2022年需求驱动下CAGR 101%，毛利率稳定在35-38%。
• 半导体设备：ALD市场占比75%由TEL/ASM主导，国产化进程加速，据测算2025年全球市场340亿美元，国产设备有望填补530亿空间。
• 新增长曲线：
  ① 存储领域对高深宽比结构需求更大（与逻辑芯片需求4：1）；
  ② 新拓CVD设备（如KF-PE-ALD集成设备），市场份额与拓荆科技形成对冲格局。

投资评级

• 盈利预测：
  2023-2025年归母净利润28/60/81亿元，动态PE 57/27/20倍。
• 估值参照：
  光伏端类比迈为股份/捷佳伟创（PE 23/14/10倍），半导体端类比北方华创/中微（PE 47/35/26倍)，成长性获机构“增持”评级。

风险提示

• 光伏装机量/扩产不及预期；
• 晶圆厂资本开支下滑；
• 研发进度未达预期。