2019年中国等离子体控制技术（PCT）行业概览_37页_1mb

2019年中国等离子体控制技术行业总结

核心内容

等离子体控制技术是用于控制等离子体电流、形状、位置及密度的技术，广泛应用于半导体制造、材料表面改性、危险废物处理等领域。该行业与半导体设备市场高度相关，随着半导体行业的发展，等离子体控制技术应用设备的渗透率将不断提升。

主要观点

• 等离子体控制技术行业的发展受到资本支持和消费电子需求激增的双重驱动。
• 行业面临设备对外依存度高和贸易保护主义带来的投资门槛提高等制约因素。
• 在国家政策支持下，中国在刻蚀、清洗、CVD、PVD等设备领域实现了国产化突破，未来有望实现进口替代。
• 高温等离子体主要应用于核聚变研究，而低温等离子体则在多个工业领域得到广泛应用。

关键信息

1. 行业驱动因素

• 资本支持：国家产业基金如“大基金”对半导体设备行业的投资推动了等离子体控制技术的发展，尤其在刻蚀、CVD、PVD和清洗设备领域。
• 消费电子需求激增：随着智能手机、5G通信等领域的快速发展，等离子体控制技术在半导体制造中的应用需求持续增长。

2. 行业制约因素

• 设备对外依存度高：高端等离子体控制技术设备主要依赖美国、日本、德国等国家进口，导致行业整体竞争力不足。
• 贸易保护主义：美国CFIUS对外国投资的审查制度日趋严格，影响了中国企业在美并购活动，增加了投资风险。

3. 行业发展趋势

• 应用场景拓宽：等离子体控制技术将从半导体制造扩展到材料表面改性、生物环境、高分子材料等多个领域。
• 国产化率提升：在国家政策推动下，中国在刻蚀、清洗设备的国产化率逐步提高，未来5至10年有望实现进口替代。

4. 行业竞争格局

• 全球市场：等离子体控制技术应用设备市场高度集中，主要由美国、日本企业主导，市场集中度达86.2%（刻蚀设备）及90%以上（PVD设备）。
• 中国市场：部分本土企业如北方华创、中微半导体、盛美半导体等在等离子体控制技术应用设备领域取得进展，打破国外垄断，提升国产化水平。

5. 主要应用领域

• 聚合物材料表面改性：等离子体控制技术用于提升材料的亲水性、粘接性和防潮性，广泛应用于汽车、医疗等领域。
• 危险废物处理：等离子体技术可高效处理有毒有害物质，具有环境友好、安全无害化等优点。
• 半导体制造：等离子体控制技术在刻蚀、薄膜沉积、清洗等环节广泛应用，成为半导体制造不可或缺的关键技术。

产业链分析

• 上游：包括传感器、可编程控制器、射频电源、真空电容器等核心零部件，目前主要依赖进口。
• 中游：等离子体控制技术应用设备制造商，如东信高科、烟台金鹰、北方华创等，正在逐步实现国产化。
• 下游：涵盖半导体制造、材料表面改性、危险废物处理、金属材料制备等，对设备性能要求各异，具有较强的议价能力。

国内企业分析

东信高科自动化设备有限公司

• 成立于1998年，专注于真空及大气低温等离子体技术、环保设备研发。
• 主营产品包括等离子清洗机、超声波清洗机等，产品广泛应用于塑料制品、汽车、半导体等行业。
• 与国内外科研机构及知名企业合作，具备较强的技术研发实力和市场竞争力。

烟台金鹰科技有限公司

• 成立于1995年，专注于等离子体技术与环保设备。
• 拥有多种等离子清洗机、处理机及工业废气处理设备，产品远销海外。
• 通过引进德国技术，研发出WB系列微波等离子清洗机，可替代进口产品。

北方华创科技集团股份有限公司

• 成立于2001年，是中国高端半导体工艺设备的代表企业。
• 主要产品包括等离子刻蚀设备、PVD设备、CVD设备、清洗设备等，已实现14纳米制程设备的国产化。
• 与多家国际知名企业合作，获得多项行业奖项，具有较强的品牌影响力。

政策与监管

• 国家政策支持：中国政府出台多项政策，如“中国制造2025”、“02专项”等，推动等离子体控制技术行业的发展。
• CFIUS审查：美国对外国投资的审查制度日益严格，影响了中国企业的海外并购，尤其在高端设备领域。

图表目录

• 图2-1：等离子体分类（根据温度划分）
• 图2-2：全球等离子体行业发展历程
• 图2-3：中国等离子体控制技术行业产业链
• 图2-4：全球半导体设备销售规模，2014-2023年预测
• 图3-1：中国合成橡胶产量，2014-2018年
• 图5-1：因CFIUS审查而被撤回或驳回的中国对美投资项目，2017-2018Q1
• 图6-1：中国等离子体控制技术行业相关政策
• 图8-1：中国部分等离子体技术控制企业

总结

中国等离子体控制技术行业正处于快速发展阶段，受到资本支持和消费电子需求的双重推动。尽管面临设备对外依存度高和贸易保护主义的挑战，但通过国家政策支持和企业自主研发，行业国产化进程加快，未来有望实现高端设备的进口替代。行业应用场景不断拓宽，市场需求持续增长，具备广阔的发展前景。