深度报告-20230113-天风证券-机械设备行业深度研究_国产ALD设备先锋_进口替代正逢其时__28页_3mb

微导纳米：国产ALD设备领军者，进口替代进程加速

核心内容概览

微导纳米是一家专注于薄膜沉积设备研发与制造的公司，以原子层沉积（ALD）技术为核心，已成功应用于光伏与半导体领域。公司产品矩阵包括ALD设备、PECVD设备、PEALD+PECVD二合一设备等，具备较高的技术壁垒和市场占有率，且在手订单充足，未来业绩增长可期。

主要观点与关键信息

1. 公司概况

• 技术优势：深耕ALD技术，产品线覆盖光伏、半导体、柔性电子等领域。
• 市场地位：在TOPCon电池领域，公司ALD设备市占率高达70%，是该领域国产ALD设备的代表企业。
• 业绩表现：公司三年营收增速均超30%，2022年营收达3.85亿元，毛利率维持在65%以上。
• 在手订单：截至2022年9月，公司已取得19.75亿元在手订单，其中ALD设备占比85.66%，未来交付有望提升盈利能力。

2. ALD技术优势

• 精度与三维共形性：ALD技术具有极高的均匀性和致密性，适合复杂结构和超薄镀膜。
• 技术对比：
  • PVD：沉积速度快，但膜层均匀性差，易损伤衬底。
  • RPD：低温工艺，对衬底损伤小，但设备成本较高。
  • CVD：沉积速率快，但存在绕镀、粉尘等问题。
  • ALD：在超薄和复杂结构中表现突出，沉积速率虽慢，但质量高，适用于高精度工艺。

3. 光伏领域应用

• N型电池趋势：N型电池转化效率高，市场正在快速扩张，预计2023年设备市场空间将突破百亿元。
• TOPCon电池：公司设备在TOPCon产线投资占比约36%，是该领域主要供应商之一。
• HJT与钙钛矿电池：ALD技术在HJT和钙钛矿电池中也有应用前景，PECVD设备在HJT产线投资占比达50%。

4. 半导体领域应用

• 国产替代：公司ALD设备在28nm节点实现突破，打破国外垄断。
• 应用领域：
  • 逻辑芯片：公司设备已应用于高K材料沉积，未来有望拓展至FinFET工艺。
  • 存储芯片：公司设备已用于FeRAM电容介质层，3D NAND Flash的堆叠结构也对ALD设备提出新需求。
• 市场空间：预计2023年半导体ALD设备市场需求突破10亿元，公司有望在该领域持续拓展。

未来展望

• 光伏领域：随着N型电池的普及，公司ALD设备将受益于行业扩产，带来业绩增长。
• 半导体领域：随着国产替代进程加速，公司有望在更多先进制程中占据一席之地。
• 其他领域：公司设备在柔性电子领域已实现产业化，未来或有更多应用机会。

风险提示

• 市场需求下滑风险；
• 新产品开发与验证风险；
• 产品交付进度不及预期；
• 毛利率波动风险；
• 市场空间测算存在主观性，仅供参考。

投资评级

• 行业评级：强于大市（维持评级）

图表与数据支持

• 公司发展历程：图1
• 股权结构：图2
• 营收与净利润增长：图3、图4
• 主营业务营收与毛利率：图5、图6
• 技术路径对比：图7、图8、图9、图10、图11、图12、图13
• 市场空间预测：图16、图17、图18、图19、图20
• 半导体设备市场占比：图21
• 全球ALD设备市场增长：图22、图23、图24

行业趋势与市场前景

• 光伏行业持续向N型电池转型，ALD技术在TOPCon和HJT等高效电池中应用广泛。
• 半导体行业制程不断缩小，ALD技术成为关键工艺设备，国产替代趋势明显。
• 钙钛矿电池作为新兴技术，对ALD设备需求逐步显现，市场潜力巨大。

总结

微导纳米凭借ALD技术优势，在光伏与半导体领域占据重要地位，未来受益于N型电池普及和国产替代进程，业绩增长可期。公司具备较强的市场竞争力和技术实力，未来有望在更多先进制造领域实现突破。