20260525-爱建证券-半导体设备行业点评_先进制程与设备多腔化共振_看好零部件环节_2页_482kb

机械设备行业点评总结

行业表现

机械设备行业在2026年表现强于大市，与沪深300指数相比展现出更高的收益率。从3月到2月，机械设备行业指数的收益率逐步提升，从-5%增长至40%，而沪深300指数则从-8%增长至20%。整体来看，机械设备行业在2026年的走势明显优于大盘，显示其具备较强的市场表现力。

行业趋势与机会

1. 先进制程与设备多腔化趋势

• 先进制程突破：国产半导体设备向7nm及以下先进制程突破的过程中，关键零部件同步升级。
• 多腔化演进：设备厂商正在推动多腔化趋势，即在单一平台集成更多反应腔，以提高单位洁净区内的产出效率。新一代设备平台已从传统的“1个传输模块+2个反应腔”架构升级为“1个中央传输平台+多个主反应腔+多个辅助腔体”架构。

2. 行业扩容与供应链重构

• 市场规模增长：根据SEMI数据，2025年全球半导体制造设备总销售额达1,351亿美元，预计2026年和2027年将分别增长至1,450亿美元和1,560亿美元。
• 国产替代加速：随着先进制程及多腔化趋势推进，设备厂对零部件的一致性、稳定性及协同配套能力要求提高，国产零部件企业有望持续提升市场份额。

核心零部件价值分析

• 机械类零部件：占设备成本的20%-40%，主要包括反应腔、传输腔、静电卡盘、陶瓷件及石英件等。
• 电气类零部件：占设备成本的10%-20%，包括射频电源、匹配器及等离子源等。
• 机电一体类零部件：占设备成本的10%-25%，包括机械手、EFEM及温控系统等。
• 气体/液体/真空系统：占设备成本的10%-30%，包括真空泵、阀门及流量控制系统等。
• 光学类零部件：在光刻及量检测设备中价值量占比可达55%。

国产零部件企业进展

• 金属零部件：富创精密、先锋精科已具备7nm及以下先进制程关键零部件量产能力。
• 硅及石英部件：神工股份刻蚀用硅零部件及凯德石英高端石英制品正加速国产替代。
• 电气类零部件：英杰电气、恒运昌电源产品已实现批量供货。
• 真空及气体系统：新莱应材、正帆科技已进入头部半导体设备厂供应链。
• 陶瓷类零部件：珂玛科技、江丰电子静电卡盘等产品正持续推进客户验证。

投资建议

建议重点关注以下企业：

1. 零部件企业：

   • 先锋精科（688605）
   • 恒运昌（688785）

2. 平台型设备企业：

   • 北方华创（002371）

3. 刻蚀设备企业：

   • 中微公司（688012）

4. 薄膜沉积设备企业：

   • 拓荆科技（688072）

5. 清洗设备企业：

   • 盛美上海（688082）

6. 量检测设备企业：

   • 中科飞测（688361）
   • 精测电子（300567）

7. 涂胶显影及键合设备企业：

   • 芯源微（688037）

8. 测试设备企业：

   • 精智达（688627）

风险提示

• 宏观经济波动：可能影响行业整体需求。
• 终端需求传导压力：市场变化可能对设备需求产生影响。
• 供应链稳定与技术迭代挑战：技术更新迅速，供应链稳定性至关重要。

评级说明

• 股票评级：

  • 买入：相对同期相关证券市场代表性指数涨幅大于15%
  • 增持：相对同期相关证券市场代表性指数涨幅在5%~15%之间
  • 持有：相对同期相关证券市场代表性指数涨幅在-5%~5%之间
  • 卖出：相对同期相关证券市场代表性指数涨幅小于-5%

• 行业评级：

  • 强于大市：相对表现优于同期相关证券市场代表性指数
  • 中性：相对表现与同期相关证券市场代表性指数持平
  • 弱于大市：相对表现弱于同期相关证券市场代表性指数

分析师声明

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